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三氯氢硅标准气体

三氯氢硅标准气体，专业术语氮中三氯氢硅（SiHCl3）标准气体，称重法配制，主要用于电子，半导体行业

  • 产品名称

    		 三氯氢硅标准气体

    其它名称

    		 氮中三氯氢硅（SiHCl3）标准气体 三氯氢硅标定气体

    配制方法

    该气体标准物质采用重量法制备，在充入一定量的已知纯度的气体组分之后，分别称量气瓶，充入的气体组分的质量由两次称量的质量之差确定。

    计算公式

    Xi=ni/n

    Xi：组分的摩尔数比（mol/mol）

    Ni：组分的物质量（mol）

    N：混合气体中全部组分的物质的量（mol）

    置信因子

    K=2（置信概率95%）

    不确定度

    U=2%

    浓度范围

    在相应饱和蒸汽压下，根据客户要求配制，最高可配置80000ppm（7MPa）

    制备标准

    		 GBT5274.12018《气体分析校准用混合气体的制备第1部分称量法制备一级混合气体》

    充装压力

    充填压力为 9.5 MPa，使用压力下限为 0.5 MPa

    随货资料

    合格证+定值证书+混合气体使用说明书

    包装规格

    8L/4L

    气瓶标准

    执行标准《气瓶安全技术规程（TSG 23-2021）》

    包装参数

    气体类型

    常规气体

    腐蚀性气体

    气瓶材质

    国标铝瓶

    国标铝瓶+涂层

    气瓶瓶阀

    QF-21A型镀镍瓶阀

    QF-21A型316L不锈钢瓶阀

    瓶阀螺纹

    出气口螺纹W21.8

    出气口螺纹W21.8

    适配减压阀

    黄铜减压阀

    3116L不锈钢减压阀

    适配管道

    普通

    请根据相应耐腐性选择

    使用须知

    1、请先将瓶身固定，瓶阀向上；

    2、确认合格证，定值证书（分析报告），瓶身中的瓶号参数一致；

    3、确认设备及管道阀门无泄漏,确认瓶中气体物质与阀门管道材质匹配，并不会产生腐蚀等化学反应；

    4、确认压力表与气瓶压力最高限值匹配；

    5、连接气瓶管道及阀门，在保证其他阀门关闭情况下，打开第一级阀门确认压力表数值；

    6、完成以上步骤，确认管道排空完成后，方可使用，请注意气瓶使用环境达到安全规范。
ꄴ前一个： 甲基硅烷(CH6Si)
ꄲ后一个： 天然气标准气体（11组份）
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