氦在通常情况下为无色、无味的气体；水中溶解度8.61 厘米3/千克水，是已知气体中最小的，也是除氢气以外密度最小的气体，密度0.17847 克/升，熔点-272.2℃（25 个大气压），沸点-268.9℃。它是最难液化的一种气体，其临界温度为-267.9℃。临界压力为2.25 大气压。当液化后温度降到-270.98℃以下时，具有表面张力很小，导热性很强，几乎不呈现任何粘滞性。液体氦可以用来得到接近绝对零度（-273.15℃）的低温。化学性质十分不活泼，既不能燃烧，也不能助燃。氦也是最难液化的气体。

电子级三氯甲烷（CHF3），纯度99.999%，别名氟仿。无色、无臭、不可燃气体、与可燃性气体 燃烧时分解产生有毒氟化物液体，微电子行业广泛应用的等离子刻蚀气体之一，特别是对二氧化硅膜的刻蚀。还用于低温混合制冷剂，有机合成中间体，红外检测器直接冷却剂等.

氪元素符号kr，原子序数36，原子量83.80，外围电子排布4s24p6，位于第六周期0族。单质由单原子分子组成，稀有气体，无色、无嗅、无味。密度3.733克/升，熔点-156.6℃，沸点为-153.3±0.1℃。原子范氏半径198皮米，第一电离能1351kJ/mol。20℃时每升水可溶解23毫升。化学性质极不活动，已制得在-80℃时才稳定的化合物氟化氪KRf2。用于充填电灯泡和电子器件。能吸收X射线，用作X射线工作时的遮光材料。

六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如：断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。

氙气是惰性气体中原子序数较大的元素（也就是较重的元素），氙原子半径较大。原子序数54，外围电子排布5s2 5p6，位于第五周期18族（IUPAC新规定，即原来的0族），原子共价半径209皮米，第一电离能1172kJ/mol。单质由单原子分子组成。稀有气体，无色、无臭、无味，密度5.887千克/立方米，熔点-111.9℃，沸点-107.1±3℃，20℃时每升水中可溶解110.9毫升（体积）。能吸收X射线。

氩气是一种无色、无味的单原子气体，相对原子质量为39.948。一般由空气液化后，用分馏法制取氩气。氩气的密度是空气的1.4倍，是氦气的10倍。 氩气是一种惰性气体，在常温下与其他物质均不起化学反应，在高温下也不溶于液态金属中，在焊接有色金属时更能显示其优越性。可用于灯泡充气和对不锈钢、镁、铝等的电弧焊接，即“氩弧焊”。

氖气(Ne)是一种无色、无味、非易燃的稀有气体。通常氖可以作为彩色霓虹灯的充装气体用于户外广告显示；此外，它还可用于可视发光指示灯、电压调节，以及激光混合气成份。