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三氟甲烷（电子级）
电子级三氯甲烷（CHF3），纯度99.999%，别名氟仿。无色、无臭、不可燃气体、与可燃性气体 燃烧时分解产生有毒氟化物液体，微电子行业广泛应用的等离子刻蚀气体之一，特别是对二氧化硅膜的刻蚀。还用于低温混合制冷剂，有机合成中间体，红外检测器直接冷却剂等.
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六氟化硫
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如：断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。
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四氟化硅
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四氟化碳
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六氟丁二烯
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三氟化氮
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六氟乙烷
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三氯氢硅标准气体
三氯氢硅标准气体，专业术语氮中三氯氢硅（SiHCl3）标准气体，称重法配制，主要用于电子，半导体行业
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三氟甲硫黄
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三氟化氯
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六氟化钨
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甲基硅烷(CH6Si)
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